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废气处理——半导体工艺有机溶剂(VOCs)尾气处理设备

日期:2021年01月25日  点击:载入中...
  半导体行业虽然作为高新技术产业,但是半导体在生产过程中使用了大量有机物和无机物,包括许多有毒有害物质,对环境危害较为严重,需要通过尾气处理设备对废气尾气加以控制。

  半导体产业中的有机废气主要来源于清洗、均胶、去胶、刻蚀、显影工序,其中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分,主要成分为异丙醇、光刻胶等有机物,在工艺过程中,这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。

  挥发性有机气体(Volatile Organic Compound),简称VOCs,由于VOCs具有渗透、脂溶及挥发等作用,对人体直接的影响很大,人体与VOCs接触或经呼吸进入人体,可能对人体之呼吸道、肺、神经系统、肾等造成危害,所以须加以处理后方可直接排放到大气中。目前,针对这种气体排放,一般采用吸附、焚烧或两者相结合的处理方法。

  吸附是利用多孔性固体吸附剂处理混合气体,使其中所含的一种或多种组分吸附于固体表面上,达到分离的目的。吸附剂选择性高,能分开其他过程难以分开的混合物,有效地消除(或回收)浓度很低的有害物质,净化效率高,设备简单,操作方便,且能实现自动控制。

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