半导体吸附式尾气处理设备有什么优点？

日期：2021年01月25日点击：载入中...

现在基本已进入以半导体技术为重心的信息时代，因半导体生产过程中需要使用多种气体，会产生很多的废气。那么在半导体生产过程中就需要使用到尾气处理设备了。

随着半导体制程工艺的不断细化，废气治理工作的深入，为了避免在冗长的排气过程中引发非预期的气体泄漏，局部聚积或相互反应，所以制程中特气废气需尾气处理设备（常用吸附式）做处理。那么吸附式尾气处理设备有什么优势呢?

吸附式尾气处理设备的优点：

1、吸附剂处理，无废水。以材质 SUS304、容量100L的吸附桶完全处理设备尾气，处理过程中不需要耗用水资源，没有废水处理问题；

2、节省能源，无明火。在无尘室内处理废气时不产生火源，没有明火，没有高耗能的需求；

3、系统功能齐全。尾气处理设备以PLC 触控面板为主体搭配人机接口控制系统，各管路进、出口设计压力、温度、CDA流量、N2流量传感器，针对设备运行时各种状况，随时监控；

4、尾气出口处安装变频风机，可根据进出口压力，调整风机转速，能提升药剂使用寿命、稳定处理废气压力和避免废气回流

5、指示剂：配备PH3, AsH3气体监控变色球指示剂，替代传统电化学计。

以上就是吸附式尾气处理设备的一些优点，大家可以参考一下，想要了解更多关于半导体尾气处理设备的小知识，欢迎致电上海高生咨询！

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