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燃烧水洗尾气处理系统 CT-BW

  伴随着具有腐蚀性气体和逐渐增加的气体负荷的新工艺引进,废气减排技术 需要 进一步改善。CT-BW系列满足此要求。CT-BW系列享有全部的优点,例如:PVC和其它气体高清洗效率,源于 CVD和刻蚀工艺全部废气的可靠减排, 所选择的不同燃气均符合所有国际化安全标准。该系统设计最大满足抗腐蚀并且处理大量附带的固体反应物。

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  CT-BW系列消除废气点系统作为一种高性能系统应用于光伏、半导体 以 及其它相关行业的CVD和刻蚀等领域。

  伴随着具有腐蚀性气体和逐渐增加的气体负荷的新工艺引进,废气减排技术 需要 进一步改善。CT-BW系列满足此要求。CT-BW系列享有全部的优点,例如:PVC和其它气体高清洗效率,源于 CVD和刻蚀工艺全部废气的可靠减排, 所选择的不同燃气均符合所有国际化安全标准。该系统设计最大满足抗腐蚀并且处理大量附带的固体反应物。

  直立的气体进口和有可选温度管理的排风配置使得气体的流通效果达到最好。 独 立的功能部件诸如燃烧腔体,湿式洗涤器,水箱和冷却系统使得危险等堵塞最小化。这些特点使维修时间间隔长和最大正常工作时间有了保证。

  每个模块尾气总流量可达到500 slm

  高效处理沉积&刻蚀气体

  增加灰尘颗粒分离器

  紧急旁路稀释气体

  腔室体积增加,DRE效果更佳

  特点 & 优势

  去除有害物质效率(DRE)可达99.99 %

  模块

  - 一个电气柜,4个独立模块

  - 独立的电气柜

  - 每个模块有独立的安全链

  (传感器, 探针, 等)

  所有媒介仅需要一个入口

  客户定制的备份性能

  燃烧器性能高,拥有成本低

  新式反应腔顶板设计,具有高抗腐蚀性

  自上而下的燃烧器设计,减少阻塞

  水冲洗的反应腔防止腐蚀及阻塞

  内部设计优化,维护方便快捷

  自动废气口清洗装置,降低间隔时间

  图形用户界面,带帮助指南,轻松解决问题

  Ethernet或RS485监控界面

  客户定制的处理工序,满足不同客户需求

  可处理各种可燃气体如:LNG, city gas, coal gas, hydrogen, propane, butane等

  独立温度调整及废气管口清洗

  德国制造

  符合国际安全标准与规范

  - SEMI S2-0706

  - SEMI S8-0308

  - SEMI S14-0704

  - NFPA79: 2007

  - EN / ISO 14121-1: 2007

  - EN / ISO 13849-1: 2008

  - EN60204-1: 2006

  - MD2006/EC/42-Annex I: 2006

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